ULVAC真空泵故障检查及处理方法之一

ULVAC爱发科真空泵故障检查 : 问题1——真空泵不旋转 

故障原因：

①电机接线错误   ②带电磁开关等安全回路安装错误

③油的粘度变高   ④异物进入泵内，转子等发生咬死

⑤排放反应性气体后、泵停止期间反应生成物在泵内积存

处理方法：

①检查接线 ②安全回路符合电机要求 ③换油 

④检修（更换缸体、转子、盖板） ⑤检修（清洗泵的内部，除去反应生成物）

故障原因：

①相对于真空容器的容量、泵的排气容量小

②压力的测量方法错误 ③真空计不合适

④吸气口的连接管径细小或管道过长 

⑤吸气口的金属网堵塞 ⑥油量不到规定值

⑦油变质   ⑧连接泵的管道漏气

⑨没有使用本公司的**油

⑩油不循环a盖等零件的油路堵塞b油分配阀故障 ⑾泵内混入水

处理方法：

①重新选泵 ②正确测量压力③使用与测量压力范围相符且校准正确的真空计 

④采用大于吸气口径的管道、缩短与真空容器的距离

 ⑤拆下吸气口上部的管道，清洗金属网 ⑥加油到规定量 

⑦换油 ⑧用氦检漏仪等检漏机器找出漏孔并堵漏 ⑨泵维修后换上本公司的**油 

⑩维修a清洁油路b检查维修油分配阀 ⑾检查漏水的地方（泵内的冷却水管、接头等的检查、更换）